Vous êtes ici

Photolithographie laser et led uv :
La photonique

La photonique est à l’optique, ce que la microélectronique est à l’électricité.

Les fonctions de base de la photonique sont le guide d’onde et le réseau de Bragg. Ces fonctions doivent être réalisées avec une extrême précision et ne pas présenter de défauts structurels supérieurs à quelques dizaines de nanomètres, puisqu’ils sont destinés à véhiculer des ondes électromagnétiques de quelques centaines de nanomètres de longueur d’onde.

Un guide d’onde dont la rugosité serait de l’ordre de quelques centaines de nanomètres ne peut guider la lumière que sur quelques centaines de micron avant que la puissance ne se soit dissipée et dispersée en dehors du guide d’onde.

L’écriture par scanning est de ce fait totalement proscrite. Il est donc nécessaire de disposer d’un réel mode d’écriture vectoriel.

D’autre part, ces fonctions d’optique intégrée doivent très généralement être couplées à des fibres optiques dont le diamètre de cœur est au minimum de 8µm. Pour limiter les pertes de couplage entre les guides d’ondes et les fibres optiques, les dimensions des cœurs de guides d’ondes doivent être du même ordre de grandeur. Le procédé de fabrication doit donc offrir une profondeur de champ suffisante pour fabriquer des structures contrôlées sur toute l’épaisseur de la couche, soit sur une dizaine de microns minimum.

Aperçu de microfabrications
Aperçu 1
Aperçu 2
Aperçu 3
Aperçu 4
Array of lines
AWG
Microring
Blazed grating
MMI
Straight Termination of Waveguides
Y Splitter