Système de photolithographie laser tabletop : Dilase 250

Ecriture directe laser

L'équipement compact et polyvalent de photolithographie laser sans masque, Dilase 250, donne accès à la lithographie laser à un un large domaine de nouvelles applications telles que la microfluidique, la micromécanique ou la photonique.
Le Dilase 250 est particulièrement bien adapté au prototypage rapide, à la fabrication de masques et de microstructures, dans des couches de résines fines ou épaisses, jusqu'à plusieurs centaines de microns

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Chaine de traitement optique de l'équipement d'écriture directe laser Dilase 250

Une technologie novatrice

Kloé a développé une nouvelle approche de la photolithographie par laser qui s'appuie sur deux innovations majeures :

L'écriture vectorielle

Qui assure un rendu parfait des bords d'écriture sans stitching ni rugosité.

Une chaîne de traitement optique spécifique

Notre chaîne de traitement optique spécifique induit une grande profondeur de champ et garantit une parfaite stabilité des performances de l'équipement. Cela permet l'écriture dans des couches épaisses de résine avec le même rendu que dans des couches minces, avec un rapport d'aspect garanti de minimum 1x20.

Système tabletop d'écriture directe laser

Schéma explicatif de la structure de l'équipement d'écriture directe laser Dilase 250

Grande profondeur de champ

La grande profondeur de champ résultant de la chaine de traitement optique spécifique développée par Kloé, permet d'écrire aussi facilement dans des couches épaisses que dans des couches minces avec la même verticalité des bords et une très faible rugosité.

Ecran d'ordinateur avec logiciel DilaseSoft pour le pilotage du Dilase 250

Logiciels dédiés à l'équipement d'écriture directe laser Dilase 250

La suite Logicielle DilaseSoft et KloeDesign équipe en standard toute la gamme commerciale des équipements Dilase. Parfaitement adaptée, cette suite logicielle vous apporte des réponses concrètes aux exigences courantes de la microfabrication, du prototypage à la production.

KloeDesign : un logiciel de dessin assisté par ordinateur

Il vous permet de concevoir rapidement tous types de dessins ou de circuits optiques, microfluidique, microélectronique grâce à une banque de données prédéfinie mise à disposition. 
De plus, KloeDesign permet d'importer les principaux formats standards de l'industrie, tels que le DXF et le GDSII, afin de s'intégrer rapidement dans votre environnement (chaîne de production).     

DilaseSoft pour piloter les équipements de lithographie

DilaseSoft est le logiciel de pilotage qui assure la production de tous types de designs par écriture laser directe. L'ergonomie et la performance ont guidé le développement de ce support.

Performances: 
  • Vitesse d'écriture linéaire : jusqu'à 100mm/s
  • Adresse de grille : 100nm en standard, 40nm en option
  • Répétabilité : 100nm
  • Wafers acceptés : de 3x3mm² jusqu'à 4 pouces, et jusqu'à 5 pouces pour des substrats carrés
  • Épaisseurs de substrat acceptées : de 250µm à 5mm
  • Taille de spot laser : de 1µm à 50µm
  • Rapport d'aspect : minimum 10 jusqu'à 20
  • Précision de réalignement : <1µm
Caractéristiques: 
  • Dimensions : 550 x 740 x 710 mm
  • Sources laser disponibles : 375nm ou 405nm
  • 1 taille de spot
  • Système de réalignement vidéo
  • Formats de fichier acceptés : DXF, GDSII, LWI
  • Système de focale motorisée
  • Logiciel de design intégré : KloéDesign, DilaseSoft
  • 3 modes d'écriture : vectorielle, scanning, combinaison des 2
Voir aussi: