Aligneurs de masque et insolateurs masqueurs :
sous-nom du produit: la gamme UV-KUB
La gamme UV-KUB, équipements de soft lithographie, est composée de 3 systèmes d'insolation et de masquage pour la photolithographie et d'un sécheur de colles, tous basés sur une technologie à base de LED-UV.
Insolateur-masqueur à LED-UV : UV-KUB 2
Les UV-KUB 2 sont des équipements de soft lithographie par masquage équipés d’une source lumineuse à base LED UV qui émet à 365nm +/- 5nm.
Une source d'UV froids, monochromatique
Ce système de masquage est équipé d'une source lumineuse à base de LED-UV, quasiment monochromatique, à 365 nm qui constitue une source d'UV froids, fortement recommandée pour le patterning dans des couches de résines épaisses, comme cela est souvent le cas pour des applications en microfluidique.
La durée de vie des LED est extrêmement plus longue que celle des traditionnelles lampes à vapeur de mercure et ces LED sont bien moins polluantes. La source UV des UV-KUB 2 n’est plus à considérer comme un consommable car il n’aura sans doute jamais à être remplacé pendant toute la durée de vie l’équipement, c'est-à-dire plus de 15 ans.
Haute qualité de collimation
La qualité de la collimation permet de bénéficier d’un angle de divergence inférieur à 2°, ce qui offre la possibilité de travailler en masquage sur des couches épaisses sans altérer le rendu des bords des motifs. Cette haute qualité de collimation permet également d’atteindre des résolutions de l’ordre du micromètre sans nécessiter de fonction de vacuum contact souvent source de détérioration des masques de photolithographie.
Caractéristiques de l'insolateur
Cet équipement existe en deux versions, la version 4 pouces et la version 6 pouces :
- la version 4 pouces fonctionne en standard avec des masques chromes de 5 pouces
- la version 6 pouces fonctionne en standard avec des masques 7 pouces.
Bien évidemment, des échantillons de plus petites dimensions peuvent être processés sans limitation de dimension minimale. Les masques de dimensions inférieurs peuvent également être utilisés grâce à des adaptateurs de masque fournis par Kloé.
Un équipement facile à utiliser
Les UV-KUB 2 sont équipés d’écrans tactiles qui assurent une utilisation très intuitive de l’équipement.
Utilisateur de cette machine, vous vous laissez guider par le menu pour introduire ses paramètres d’insolation. Vous pouvez ainsi ajuster :
- la densité de puissance d’insolation,
- la durée d’exposition aux UV,
- le mode d’insolation continu ou pulsé.
Vous terminez en choisissant la distance ajustable entre l’échantillon et le masque, en hard ou soft contact. Tous ces paramètres peuvent être enregistrés pour vous éviter de devoir les taper à chaque utilisation.
Ce système extrêmement compact, 26x26x26cm3, en fait le système de masquage le plus compact du marché. Totalement clos en fonctionnement, il assure une parfaite sécurité à l’utilisateur qui n’est à aucun moment exposé à la lumière UV de forte densité et ne nécessite donc pas d’être installé en salle blanche.
Domaines d'application du masqueur à LED-UV UV-KUB 2
Son prix très compétitif en fait l'outil idéal de soft lithographie pour la recherche en microfluidique, application pour laquelle l'UV-KUB 2 a initialement été créé. Il est également prisé pour des applications MEMS, pour l’enseignement des microtechnologie auprès des étudiants. Il peut enfin être utilisé comme spare d’un aligneur de masque pour la réalisation du premier niveau de masquage. Ainsi l’aligneur de masque reste uniquement dédié à l’alignement de masque.
Voir le témoignage de François NADAL de Loughborough University sur notre UV-KUB 2
Nouvelle génération d'aligneurs de masque : UV-KUB 3
Les UV-KUB 3 constituent la nouvelle génération d’aligneur de masque et révolutionnent totalement la photolithographie par masquage. Cette technologie désormais accessible à tous et quasiment à toutes les bourses, est facile et rapide à mettre en œuvre, sans nécessiter un apprentissage chronophage et fastidieux.
Durée de vie de la source LED-UV : 10000 heures
L'UV-KUB 3 est un aligneur de masque qui fonctionne suivant le même principe que l’UV-KUB 2. Il est équipé de la même source à LED UV, avec une qualité de collimation améliorée offrant la possibilité d’atteindre des résolutions <1µm et même submicronique sans nécessité de fonction vacuum contact, trop souvent responsable de la détérioration des masques chrome.
Un équipement compact et facile à utiliser
Il est également équipé d’un écran tactile intuitif et ergonomique pour l’introduction des paramètres d’insolation. L'UV-KUB 3 est assurément l’aligneur de masque le plus compact et le moins cher du marché tout en offrant des performances comparables voire meilleures que bon nombre d’aligneurs de masque de technologie traditionnelle. Ainsi en possédant un UV-KUB 3 vous accéderez à une grande avancée technologique en matière d’alignement par masquage.
L’aligneur de masque UV-KUB 3 est extrêmement compact, 475x480x515mm, dans les deux versions 4 pouces et 6 pouces et de ce fait très économique en espace salle blanche. Il est totalement clos apportant une parfaite sécurité à l’utilisateur et ne nécessite pas une installation systématique en salle blanche. Par exemple vous pouvez l’installer aisément dans un laboratoire sous une hotte à flux laminaire, ou dans une boîte à gants.
Il bénéficie d’un porte-masque amovible, ce qui vous permet de changer le substrat aussi souvent que vous le souhaitez sans toucher au masque : c’est à la fois un gain de temps et une manière de préserver les masques, fragiles, en limitant leur manipulation.
L'alignement et le pré-alignement facilités, grâce aux caméras CCD et au joypad
L'UV-KUB 3 est équipé de deux caméras CCD en lieu et place de la traditionnelle binoculaire jugée par de nombreux utilisateurs comme très fatigante et fragile. Les images des deux caméras sont projetées simultanément sur l’écran tactile permettant la visualisation de deux repaires d’alignement en même temps. La procédure d’alignement s’en trouve fondamentalement facilitée et accélérée.
Un alignement avec une précision de 1µm peut ainsi être obtenu en quelques minutes à l’aide du PAD de type playstation, facile à manipuler et bien connu de la jeune génération.
Cet aligneur de masque est équipé d’un PC embarqué qui permet :
- de faire des saisies d’images,
- de la métrologie
- l’enregistrement de la position des repaires d’alignement d’une famille de masques.
De ce fait, à l’introduction du masque dans le système, les deux caméras CCD haute résolution viennent se positionner automatiquement à l’adresse enregistrée dans le PC embarqué. Cette étape totalement transparente pour l’utilisateur constitue un pré alignement qui permet à l’utilisateur de gagner énormément de temps pour cette phase trop souvent fastidieuse de recherche des repaires d’alignement avec les technologies traditionnelles.
Voir le témoignage de Sébastien TEYCHENE d'ENSIACET Toulouse sur notre UV-KUB 3
Lampe UV à forte densité de puissance : UV-KUB 9
L'UV-KUB 9 est un insolateur UV à LED à forte densité de puissance à 365 nm, ajustable jusqu’à 200 mW/cm². C’est un insolateur homogène sur des surfaces allant jusqu’à 9 pouces, équipé d’une source non collimatée.
Un équipement facile à utiliser, piloté par un écran tactile
En harmonie avec le concept UV-KUB, le système est piloté par écran tactile et l’insolation est lancée uniquement lorsque le tiroir d’insertion est fermé pour assurer la plus grande sécurité à l’utilisateur. L'UV-KUB 9 est un équipement dédié au wafer bounding et à l’inhibition de l’adhérence des films blue tape de découpe par disqueuse automatique pour la microélectronique. Cet équipement tabletop est très compact et ne nécessite pas une installation en salle blanche comme les autres UV-KUB d’ailleurs.
Sécheur de colles à LED-UV : K-ILU
Système à LED UV sur petites surfaces
Sécheur de colles, le K-ILU 2 est un système ponctuel à LED UV piloté par écran tactile et programmable en mode curing continu ou impulsionnel. Il permet, grâce à ses UV froids, la réalisation de points de colles non contraints indispensables pour le pigtailing et l'assemblage optique.
Le K-ILU 2 peut être équipé de 1 à 4 têtes d'insolation d'une puissance jusqu'à 100 mW/cm² chacune, indépendantes, qui rend ce système d'insolation UV parfaitement compatible avec une utilisation en chaîne de production pour l'industrie de l'optique, de l'électronique et des cartes à puces.
Voir le témoignage de Henri PORTE d'IXBlue Toulouse sur notre K-ILU
