Aligneur de masque : UV-KUB 3

1er système compact à LED-UV

L'aligneur de masque UV-KUB 3 est le premier système d'alignement de masque équipé d'une source LED-UV sur le marché international, qui fournit une qualité de collimation inégalée et une exposition homogène.

Compact, simple d'utilisation et performant, l'UV-KUB 3 autorise l'alignement de masque jusqu'à 7" avec des substrats jusqu'à 6" dans l'encombrement contenu d'un cube de seulement 48 cm de côté.

Compatible avec l'ensemble des résines de photolithographie classiques de type AZ, Shipley, SU8 et K-CL.

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Capture d'écran d'un alignement de masques avec l'UV-KUB 3

Une nouvelle approche de l'alignement de masque

La nouvelle génération d'aligneurs de masque UV-KUB 3 est particulièrement adaptée à la réalisation, par photolithographie, de systèmes microfluidiques, de circuits optiques intégrés, de microélectroniques, MEMS…

Entièrement sécurisé grâce à son capotage hermétique à la poussière, cet équipement constitue la seule solution du marché qui démocratise la photolithographie de précision sans exiger un environnement de type salle blanche.

Résolution et précision d'alignement

Sa conception rend possible la réalisation de microstructures inférieures à 1 µm sur toute la surface de travail de 4" ou 6’’ selon les versions avec une précision d'alignement inférieure à 1 µm.

Avantages de la technologie d'insolation à LED-UV

  • une source d’illumination dépourvue d’effets thermiques indésirables
  • parfaitement monochromatique
  • durée de vie des LED > 10000 h : ne nécessitent pas de maintenance particulière

Un système d'alignement de masque compact

Au-delà de sa taille réduite au minimum, sa structure porteuse interne le dispense de la nécessité d'une table anti-vibratoire. Associé à une consommation électrique réduite, l'UV-KUB 3 est l'outil idéal pour maîtriser les coûts d'exploitations.

Une utilisation simple et performante

Avec l'UV-KUB 3 réalisez en quelques minutes des alignements de masque précis à moins de 1 µm grâce au joypad de contrôle ergonomique ou à l'aide de l'interface tactile dynamique et intuitive.

Un aligneur de masque bien moins cher que les aligneurs de masque traditionnels, à performance équivalente

L'UV-KUB 3 est l'aligneur de masque de haute résolution le moins cher sur le marché international.

Nouvelle génération d'aligneurs de masque à LED-UV

Schéma explicatif de la structure de l'aligneur de masque UV-KUB 3

Haute qualité de collimation et homogénéité de l'exposition

Grâce à un angle de divergence inférieur à 2°, vous pouvez atteindre des résolutions de l'ordre du micromètre, sans avoir besoin d'utiliser un vacuum mode. Il est ainsi possible de travailler dans des couches épaisses de résines (plusieurs centaines de microns) avec un parfait rendu des bords sans rugosité excessive, ce qui permet d'atteindre un rapport d'aspect de 20x100.

Performances: 
  • Résolution: 1 µm
  • Taille de masques acceptés: jusqu'à Ø 5" ou Ø 7" respectivement avec les versions 4'' et 6''
  • Taille des substrats: Ø2"- Ø4"- Ø6" et 50x50mm - 100x100mm
  • Résolution du système de visualisation: 1,5 µm
  • Résolution mesure distance masque/substrat: 0,5 µm
  • Résolution déplacement substrat θ: 5.10-4°
  • Résolution déplacement substrat XYZ: 0,4 µm (0,2 µm en option)
  • Longueur d'onde : 365nm +/- 5nm
  • Densité de puissance : 35mW/cm² +/- 10%
  • Echauffement de l'échantillon pendant l'insolation : < 1° C
  • Cycle d'insolation : entre 1s et 1h
  • Nombre de cycles mémorisables : > 100
Caractéristiques: 
  • Dimensions: 475 x 480 x 515 mm
  • Poids: 55 kg
  • Contrôle des déplacements: Joypad USB ou sans fil 24 touches
  • Ecran tactile couleur: 15.6 pouces
  • Alimentation : 100V/240V - 50Hz/60Hz
  • Consommation : 180W