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Aligneurs de masque et systèmes de lithographie sans masque : nos produits

Depuis 2006, Kloé conçoit, développe et produit une gamme complète d’équipements dédiés à la photolithographie de haute résolution, par masquage ou par procédé sans masque

Masqueurs LED-UV et aligneurs de masque : la gamme UV-KUB

Nos masqueurs LED-UV et nos aligneurs de masque présentent de très nombreux avantages :

  • Une grande simplicité d’utilisation entièrement pilotés par écran tactile
  • Une très longue durée de vie de la source à LED UV, à 365 nm
  • Une source monochromatique d’UV froids qui évite les effets thermiques
  • La possibilité de l’utiliser hors salle blanche grâce à sa configuration compacte et complètement close.
  • Pouvoir ajuster la densité de puissance d’émission
  • Procéder à une insolation soit continue, soit par série d'impulsions dont la durée et la puissance sont ajustables.

De plus, notre nouvelle génération d'aligneurs de masque, UV-KUB 3, proposés en versions 4 ou 6 pouces, intègrent toutes les dernières innovations technologiques de ces dernières années :

  • une source LED UV à la place des anciennes lampes Hg 
  • des caméras CCD à la place des binoculaires
  • un joypad très maniable et ergonomique pour la réalisation de l’alignement.
  • un PC embarqué offrant la possibilité de faire de la saisie d’image, de la métrologie et surtout l’enregistrement de la position des repaires d’alignement des masques pour un préalignement automatique des deux caméras de visualisation.

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Equipement de photolithographie sans masque : la gamme Dilase

Une très grande profondeur de champ

La technologie Dilase vous livre de nombreuses innovations et spécificités uniques sur le marché des technologies de photolithographie directe par laser. Notamment la capacité d’écrire dans des couches de résines de plusieurs centaines de microns en une seule passe laser, grâce à une chaîne de traitement optique qui garantit une unique et très grande profondeur de champ optique, un rapport d'aspect minimum de 1x20 garanti.

Cette grande profondeur de champ unique sur le marché des équipements de photolithographie avec ou sans masque, ouvre la porte de la photolithographie optique haute résolution à de très nombreux domaines d’applications comme la microfluidique, l’optique guidée, la fonctionnalisation de surface ou la micromécanique.

3 modes d'écriture disponibles : vectoriel, scanning ou une combinaison des deux

La technologie Dilase offre également la possibilité d’écrire en mode vectoriel, en mode scaning et de combiner les 2 modes d’écriture pour la réalisation d’un même circuit. Il est possible de moduler la vitesse d’écriture à volonté dans une gamme illimitée de vitesse d’écriture tant en mode vectoriel qu’en mode par scaning.

Performances accrues

En utilisant ces systèmes vous bénéficierez également d’une plus grande flexibilité et une meilleure reproductibilité des performances en microélectronique et autres procédés plus traditionnellement utilisateurs des technologies de lithographie optique. Enfin, sachez aussi qu’elle ne nécessite plus l’utilisation de systèmes autofocus, qui bien souvent sont davantage une source de problème et de limitation technologique que de réelles valeurs ajoutées.

Domaines d'application

Tous nos équipements d'écriture directe laser offrent une librairie de mode d’écriture spécifiques, qui va de la structuration à haut rapport d’aspect (jusqu’à 1x80), à la structuration à niveaux de gris, avec un nombre illimité de niveaux de gris, ou l’écriture de plots en forte densité sur de grandes surface à haute cadence d’écriture.

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Imprimante 3D haute résolution pour la microfabrication 3D : Dilase 3D

Dilase 3D est un équipement de stéréolithographie de haute résolution pour la fabrication d’objets de gros volume (100x100x50mm3). Cette imprimante 3D de haute résolution permet de réaliser des microstructures de l’ordre du micron. Elle a été conçue en partenariat avec le laboratoire CNRS du LAAS à Toulouse pour des applications en microfluidique 3D, en biomédicale et biotechnologie.

Voir le Dilase 3D


La photolithographie, en raison de la miniaturisation, est devenue une réponse technologique clé pour de très nombreux domaines scientifiques et industriels

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Les capteurs de température pour la mesure haute résolution de température

Basés sur la technologie éprouvée des réseaux de Bragg

Les capteurs de température développés par Kloé vous offrent le double avantage de bénéficier de mesures de très haute résolution et d’une très forte densité de points de mesure par câble optique de détection (fibre optique).

Câbles optiques réalisés selon les spécifications de nos clients

Les spécificités de notre technologie permettent plus particulièrement de répondre aux exigences de vos applications qui requièrent une grande sensibilité de détection (surveillance) et des relevés de température en continu le long du câble.
Pour répondre au mieux aux objectifs de chaque projet, nos câbles optiques sont réalisés sur les spécifications de nos clients, depuis le nombre de capteurs à considérer jusqu’à leur positionnement le long de la fibre (régulier ou irrégulier), en passant par la sélection d’une gaine de protection pour répondre aux contraintes de l’environnement dans lequel il doit être installé.

Nos systèmes de monitoring de la température permettent de bénéficier d’une mesure quasi temps réel (quelques secondes) sans recourir au post processing. La résolution de la mesure est de 0.01°C sans postprocessing et peut atteindre 0.001°C avec post processing.

En complément, le système d’interrogation, en charge de relever les températures observées le long des câbles optiques, est également dimensionné par nos soins aux besoins de votre application :

  • La largeur de bande de la source optique dont il est équipé est adaptée au nombre de capteurs déployés par câble de mesure,
  • Le nombre de câbles optiques pouvant être contrôlés par un même interrogateur est également ajustable
  • Le type de conditionnement de celui-ci peut également être dimensionné pour répondre aux exigences des conditions de son exploitation (configurations : nomade / sédentaire, baie serveur / climatisée ou non…)

L’association de l’un de nos interrogateurs avec nos solutions de câbles de mesure constitue l’une des configurations les plus performantes du marché pour la mesure de températures par voie optique.

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