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Photolithographie laser et led uv :
Micromécanique

Micromécanique : procédé par laser pour la découpe et le perçage


Exemple de structure micromécanique : micro-roue
Exemple de structure micromécanique : micro-roue d'épaisseur 300 µm
Exemple de structure micromécanique : micro-roue d'épaisseur 300 µm 2
Exemple de structure micromécanique : micro-engrenage avec micro-dents
Exemple de structure micromécanique : micro-engrenage
Exemple de structure micromécanique : élément de montre avec 2 niveaux d'alignement
Exemple de structure micromécanique : élément de montre avec 2 niveaux d'alignement 2
Exemple de structure micromécanique : élément de montre avec 2 niveaux d'alignement 3
Exemple de structure micromécanique : micro-roue d'épaisseur 300 µm 3
Exemple de structure micromécanique : micro-roue d'épaisseur 300 µm 4

La mécanique, comme toutes les autres technologies, évolue vers une miniaturisation toujours plus poussée.

Aujourd’hui, la photolithographie prend une part grandissante pour la mise en forme de pièces de micromécanique notamment pour l’industrie horlogère.



Exigences particulières de la micromécanique

Les dimensions critiques recherchées dans ce secteur ont progressivement changé et nécessitent une adaptation des technologies mises en œuvre. Les procédés par laser deviennent de plus en plus utilisés pour la découpe et le perçage. Les tailles critiques demeurent à l’échelle de la dizaine ou de la centaine de microns dans les 3 dimensions, avec des rugosités requises davantage à l’échelle du micron.


Pour répondre à ces besoins spécifiques, il est nécessaire que les équipements mis en œuvre soient en mesure d’écrire dans des couches épaisses de plusieurs centaines de microns avec un contrôle parfait de la verticalité des bords d’usinage tout en offrant une très faible rugosité.

La capacité d'écrire en mode vectoriel contrôlé en dynamique et une grande profondeur de champ optique du faisceau d’écriture sont les deux principales propriétés indispensables pour satisfaire ce secteur d’activité. Notre technologie d'écriture directe laser, la technologie Dilase répond à ces deux points essentiels.