Insolateur forte densité de puissance : UV-KUB 9

Système à forte puissance UV pour insolation de grandes surfaces

Insolateur grande surface, l'UV-KUB 9 est un insolateur à UV froids à base de LED qui émet une forte densité de puissance homogène et monochromatique (200mW/cm² +/- 5%) à 365nm sur une surface de travail de 9 pouces. C'est l'équipement idéal pour des applications de wafer bonding, de bonding temporaire et de curing des blue tapes utilisés pour la découpe de wafers amincis en microélectronique.

 

Demande de devis
Insolateur à LED-UV UV-KUB 9 avec tiroir ouvert

Une forte densité de puissance en toute sécurité

Une source à base de LED-UV

  • vous permet de bénéficier d'une forte densité de puissance ajustable d'UV froids.
  • cette source non collimatée est homogène à +/- 5% sur une surface de travail de 9 pouces 

Un système sécurisé et facile à utiliser

L’ouverture et la fermeture du tiroir d’insertion et d’extraction des wafers et mainframes est manuelle, et garantit une parfaite protection de l’utilisateur vis-à-vis de toute exposition aux UV. L'ensemble des fonctions de l'équipement est piloté par écran tactile : son usage est ainsi pratique, facile, et ne nécessite pas un environnement de type salle blanche.

Insolation sous UV des blue tape

Le porte échantillon peut accueillir des wafers de 4, 6 et 8 pouces de diamètre et des mainframes de découpe de 7 et 9 pouces pour l’insolation sous UV des « blue tape » de découpe.
Le temps d’insolation pour l’inhibition des « blue tape », à pleine puissance est de l’ordre de 20 secondes.

 

Système d'insolation à base de LED-UV

Schéma explicatif de la structure de l'insolateur à LED-UV UV-KUB 9

Compact et une très faible consommation d'énergie

L'insolateur forte densité de puissance UV-KUB 9 offre une grande efficacité énergétique, puisqu'il ne consomme que 800W. Ainsi, il permet de réduire considérablement la consommation d'énergie, comparé à une source UV classique, basée sur Hg (facteur d'1 pour 10 environ).

Pour ces raisons, il génère une chaleur douce, ce qui est un véritable avantage pour une utilisation en salle blanche.

Performances: 
  • Longueur d'onde : 365nm +/- 5nm
  • Densité de puissance : 200mW/cm² +/- 5%
  • Echauffement de l'échantillon pendant l'insolation : < 2° C
  • Cycle d'insolation : entre 1s et 1h
  • Nombre de cycles mémorisables : 10
Caractéristiques: 
  • Dimensions : 350 x 410 x 355 mm
  • Poids : 22 kg
  • Ecran tactile couleur : 5,7 pouces
  • Alimentation : 100V/240V - 50Hz/60Hz
  • Consommation : 800W
  • Temps d'exposition des blue tapes : ADWILL D650 - 15s
  • Temps d'exposition des blue tapes : ADWILL D175 P370 - 45s
Voir aussi: