Masqueur à LED-UV : UV-KUB 2

Un masqueur à LED-UV doté d'une performance de collimation inégalée

Insolateur masqueur, l'UV-KUB 2, disponible en version 4 ou 6 pouces, est le premier système de masquage à base de LED UV sur le marché international. L'UV-KUB 2 est un insolateur-masqueur compact à UV froids, équipé d'une tête optique collimatée et homogène à base de LED. 

Dédie à la photolithographie UV par masquage cet équipement permet d'atteindre des résolutions inférieures à 1µm. Il est compatible avec l'ensemble des résines de photolithographie classiques de type AZ, Shipley, SU8 et K-CL

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Source lumineuse à LED-UV du masqueur UV-KUB 2

Une nouvelle approche du masquage

La gamme d'aligneurs de masque UV-KUB propose des équipements avec différents niveaux de flexibilité et fonctionnalité, en version 4 ou 6'', avec ou sans fonction d'alignement.

Avec le masqueur à LED-UV UV-KUB 2, vous bénéficiez des nombreux avantages de la technologie LED :

  • une source d'UV froids dépourvue d'effets thermiques indésirables et parfaitement monochromatique
  • la possibilité d'opérer par exposition UV en continu ou en mode pulsé
  • durée de vie des LED > 10000 h : ne nécessitent pas de maintenance particulière  

De par sa configuration fermée, l'insolateur-masqueur UV-KUB 2 est un équipement idéal pour votre laboratoire ou votre salle blanche.

Particulièrement compact et piloté par écran tactile, l'UV-KUB 2 permet la réalisation simple de travaux de microstructurations par masquage en modes hard ou soft contact. 

C'est un équipement de laboratoire, particulièrement adapté à la fabrication :

Système de soft lithographie à LED-UV

Schéma explicatif de la structure de l'insolateur-masqueur UV-KUB 2

Performance de collimation inégalée

La société Kloé a attaché une attention toute particulière au développement d'une chaîne de traitement optique spécifique, compacte et très performante, pour équiper l'insolateur-masqueur UV-KUB 2 en s'appuyant sur sa grande expérience dans ce domaine.

Collimation de haute qualité

Le masqueur à LED-UV UV-KUB 2 bénéficie d'une haute qualité de collimation de la source lumineuse qui permet d'obtenir une haute résolution homogène sur une surface de travail de 4 ou 6 pouces selon la version.

L'angle de divergence de la source LED-UV est inférieur à 2°

Ainsi, la réalisation de motifs présentant des flancs d'une excellente verticalité est garantie, avec une résolution inférieure à 1 µm.

Performances: 
  • Résolution : 1µm
  • Longueur d'onde : 365nm +/- 5nm
  • Densité de puissance : 35mW/cm² +/- 10%
  • Echauffement de l'échantillon pendant l'insolation : < 1° C
  • Cycle d'insolation : entre 1s et 1h
  • Nombre de cycles mémorisables : 10
Caractéristiques: 
  • Dimensions : 260 x 260 x 260 mm
  • Poids : 8,2 kg / 18lbs
  • Ecran tactile couleur : 5, 7 pouces
  • Alimentation : 100V/240V - 50Hz/60Hz
  • Consommation : 180W