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Photolithographie laser et led uv :
La microélectronique

Les microtechnologies ont initialement été développées pour répondre aux besoins de la microélectronique et ses évolutions.

Essentiellement basées sur une technologie à couches minces (souvent inférieure au micromètre), les fonctions microélectroniques se miniaturisent toujours davantage depuis plus de 30 ans.

Pour des raisons de mutualisation des étapes de fabrication, les technologies de masquage gardent une place très importante. Cependant la fabrication des masques continue de se faire en fonction de la résolution souhaitée, soit par écriture laser (jusqu’à 500nm), soit par gravure par faisceau d’électrons (en-dessous de 500nm de largeur de trait).

Kloé a développé les UV KUB, sa propre gamme d’équipement de masquage et d’aligneurs de masque qui intègre toutes les dernières innovations technologiques, telles qu’une source UV à LED parfaitement monochromatique à 365nm, sans émission d’Infra Rouges, des caméras CCD à la place de la binoculaire, un PAD de pilotage, un PC embarqué et un écran tactile.

Les équipements de la gamme Dilase, sont bien entendu compatibles avec la fabrication de masque. Ils offrent surtout la flexibilité nécessaire pour faire de l’écriture directe par laser sur wafer de toute dimension ainsi que sur de très petits échantillons sans limite de taille ni perte de résolution.

Aperçu de microfabrications
Aperçu 1
Aperçu 2
Aperçu 3
Aperçu 4
Alignment 1 Dilase
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