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Photolithographie laser et led uv :
Microfluidique

Microfluidique

La microfluidique est très certainement le domaine d’application qui constitue aujourd’hui le cœur de nos préoccupations.

Les équipements UV KUB 2- 4’’ et UV KUB 3 - 4’’ ont été développés spécifiquement pour répondre aux besoins de la communauté microfluidique, en terme de performance, de simplicité d’utilisation, de compacité et de prix. Dilase 250 est par ailleurs le premier équipement de photolithographie sans masque développé en premier lieu pour la microfluidique.

Pour fabriquer des circuits microfluidiques il est très important de pouvoir écrire dans des couches de résines épaisses, pouvant aller jusqu’à plusieurs centaines de microns. En parallèle, il faut également garantir une qualité parfaite au niveau des bords d’écriture, sans rugosité excessive. Pour ce faire, Kloé a développé une chaine de traitement optique spécifique. Elle offre une profondeur de champ unique (plusieurs centaines de microns) et un mode d’écriture vectoriel (à la manière d’un stylo) en remplacement du mode d’écriture traditionnel par pixellisation.