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Système d'insolation et de masquage à LED

La gamme des UV KUB, équipements de photolithographie par masque à base de LED UV est composée de 3 équipements.

Masqueur à LED:  UV-KUB 2

Masqueur à LED : UV-KUB 2

En savoir plus sur : UV-KUB 2

Avantages des lampes led uv UV-KUB 2

Les UV KUB 2 sont des équipements de soft lithographie par masquage équipés d’une source lumineuse à base LED UV qui émettent à 365nm +/- 5nm. De ce fait, la source est quasiment monochromatique et constitue une source d’UV froids, fortement recommandée pour le patterning dans des couches de résines épaisses, comme cela est souvent le cas pour des applications en microfluidique. La qualité de la collimation permet de bénéficier d’un angle de divergence inférieur à 2°, ce qui offre la possibilité de travailler en masquage avec sur des couches épaisses sans altérer le rendu des bords des motifs. Cette haute qualité de collimation permet également d’atteindre des résolutions de l’ordre du micromètre sans nécessiter de fonction de vacuum contact souvent source de détérioration des masques de photolithographie. Enfin la durée de vie des LED est extrêmement plus longue que celle des traditionnelles lampes à vapeur de mercure et ces LED sont bien moins polluantes. La source UV des UV KUB 2 n’est plus à considérer comme un consommable car il n’aura sans doute jamais à être remplacé pendant toute la durée de vie l’équipement.

Caractéristiques de l’insolateur

Cet équipement existe en deux versions, la version 4 pouces et la version 6 pouces. La version 4 pouces fonctionne en standard avec des masques chromes de 5 pouces tandis que la version 6 pouces fonctionne en standard avec des masque 7 pouces. Bien évidemment, des échantillons de plus petites dimensions peuvent être processés sans limitation de dimension minimale. Les masques de dimensions inférieurs peuvent également être utilisés grâce à des adaptateurs de masque fournis par Kloé. Les UV KUB 2 sont équipés d’écrans tactiles qui assurent une utilisation très intuitive de l’équipement. Utilisateur de cette machine, vous vous laissez guider par le menu pour introduire ses paramètres d’insolation. Il peut ainsi ajuster la densité de puissance d’insolation, la durée d’exposition aux UV ainsi que le mode d’insolation continu ou pulsé. Vous terminez en choisissant la distance ajustable entre l’échantillon et le masque, en hard ou soft contact. Tous ces paramètres peuvent être enregistrés pour vous éviter de devoir les taper à chaque utilisation. Ce système extrêmement compact, 26x26x26cm3, en fait le système de masquage le plus compact du marché. Totalement clos en fonctionnement, il assure une parfaite sécurité à l’utilisateur qui n’est à aucun moment exposé à la lumière UV de forte densité et ne nécessite donc pas d’être installé en salle blanche.

Domaines d’application de l’UV-KUB 2

Son prix est également très compact et en fait l’outil idéal de soft lithographie pour la recherche en microfluidique. Application pour laquelle l’UV KUB 2 a initialement été créé. Il est également prisé pour des applications MEMS, pour l’enseignement des microtechnologie auprès des étudiants. Il peut enfin être utilisé comme spare d’un aligneur de masque pour la réalisation du premier niveau de masquage. Ainsi l’aligneur de masque reste uniquement dédié à l’alignement de masque.

Aligneur de masque : UV-KUB 3

Les UV KUB 3 constituent la nouvelle génération d’aligneur de masque et révolutionne totalement la photolithographie par masquage.

En savoir plus sur : UV-KUB 3

Avantages des lampes à LED UV UV-KUB 3

Cette technologie est désormais accessible à tous, facile et rapide à mettre en œuvre, sans nécessiter un apprentissage chronophage et fastidieux, et accessible à quasiment toutes les bourses. UV KUB 3 est un aligneur de masque qui fonctionne suivant le même principe que l’UV KUB 2. Il est équipé de la même source à LED UV, avec la même qualité de collimation offrant la possibilité d’atteindre des résolutions de 1µm et même submicronique sans nécessité de fonction vacuum contact, trop souvent responsable de la détérioration des masques chrome. Il est également équipé d’un écran tactile intuitif et ergonomique pour l’introduction des paramètres d’insolation. UV KUB 3 est assurément l’aligneur de masque le plus compact et le moins cher du marché tout en offrant des performances comparables voire meilleures que bon nombre d’aligneur de masque de technologie traditionnelle. Ainsi en possédant un UV-KUB 3 vous accéderez à une grande avancée technologique en matière d’alignement par masquage.

Caractéristiques de l’aligneur de masque

UV-KUB 3 est équipé de deux caméras CCD en lieu et place de la traditionnelle binoculaire jugée par de nombreux utilisateurs comme très fatigante et fragile. Les images des deux caméras sont projetées simultanément sur l’écran tactile permettant la visualisation de deux repaires d’alignement en même temps. La procédure d’alignement s’en trouve fondamentalement facilitée et accélérée. Un alignement avec une précision de 2µm peut ainsi être obtenu en quelques minutes à l’aide du PAD de type playstation, facile à manipuler et bien connu de la jeune génération. Cet aligneur de masque est équipé d’un PC embarqué qui permet de faire des saisies d’images, de la métrologie et surtout l’enregistrement de la position des repaires d’alignement d’une famille de masque. De ce fait, à l’introduction du masque dans le système, les deux caméras CCD haute résolution viennent se positionner automatiquement à l’adresse enregistrée dans le PC embarqué. Cette étape totalement transparente pour l’utilisateur constitue un pré alignement qui permet à l’utilisateur de gagner énormément de temps pour cette phase trop souvent fastidieuse de recherche des repaires d’alignement avec les technologies traditionnelles. L’aligneur de masque UV KUB 3 est extrêmement compact, 45x45x45cm3, dans les deux versions 4 pouces et 6 pouces et de ce fait très économique en espace salle blanche. IL est totalement clos apportant une parfaite sécurité à l’utilisateur et ne nécessite pas une installation systématique en salle blanche. Par exemple vous pouvez l’installer aisément dans un laboratoire sous une hotte à flux laminaire.

Aligneur de masque UV-KUB 3
Insolateur forte densité de puissance UV-KUB 9

Insolateur forte densité de puissance : UV-KUB 9

Les UV KUB 9 sont des insolateurs UV à LED à forte densité de puissance à 365nm, ajustable jusqu’à 200mW/cm². C’est un insolateur homogènes sur des surfaces allant jusqu’à 9 pouces, équipé d’une source non collimatée.

En savoir plus sur : UV-KUB 9

En harmonie avec le concept UV KUB, le système est piloté par écran tactile et l’insolation est lancée uniquement lorsque le tiroir d’insertion est fermé pour assurer la plus grande sécurité à l’utilisateur. UV KUB 9 est un équipement dédié au wafer bounding et à l’inhibition de l’adhérence des films blue tape de découpe par disqueuse automatique pour la microélectronique. Cet équipement tabletop est très compact et ne nécessite pas une installation en salle blanche comme les autres UV-KUB d’ailleurs.

Sécheurs de colles : K-ILU 1 et 2

Système à LED UV sur petites surfaces

En savoir plus sur : K ILU 1 et 2

Sécheur de colles, le K-ILU est un système ponctuel à LED UV piloté par clavier (K-ILU 1) ou par écran tactile (K-ILU 2) et programmable en mode curing continu ou impulsionnel. Il permet, grâce à ses UV froids, la réalisation de points de colles non contraints indispensables pour le pigtailing et l'assemblage optique.

Le K-ILU 2 peut être équipé de 1 à 4 têtes d'insolation d'une puissance de 100 mW/cm² chacune, indépendantes, qui rend ce système d'insolation UV parfaitement compatible avec une utilisation en chaîne de production pour l'industrie de l'optique, de l'électronique et des cartes à puces.

Sécheurs de colles K-ILU 1 et 2