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Photolithography system :
Direct laser writing, uv led exposure

Kloé designs, develops and produces a complete range of equipment dedicated to high resolution photolithography created with or without photomasks

Direct laser and UV writing systems

Direct laser writing and UV LED masking systems

Kloé has specialised, since 2006, in the design and the production of photolithography equipment for micro-technology

It has, for more than 15 years set up a complete range of photomask-based lithography equipment integrating the latest technological innovations. Thus, we may propose latest generation of mask aligners associating performance and ease of use to address the largest panel of users. The compact size and competitive price have been two major criteria for the development of these systems. In parallel and to fulfil expectations not yet covered by the main manufacturers of this type of equipment, Kloé developed its own technology of maskless direct laser writing systems.

Kloé has notably developed laser lithography systems to answer the needs of researchers and industry in microfluidics and biotech working in only one single layer pass. In particular, this equipment enables the writing in thick layers of resins, with a once over action of the laser and pile up these layers for the production of 2D, 2,5D and 3D structures of large dimensions, while offering high resolution at a micrometric scale.

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Photolithography, because of miniaturization, has become a key technological answer for many scientific and industrial fields

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Optical sensors for high resolution temperature measurement

Basés sur la technologie éprouvée des réseaux de Bragg, les capteurs de température développés par Kloé vous offrent le double avantage de bénéficier de mesures de très haute résolution et d’une très forte densité de points de mesure par câble optique de détection (fibre optique).

Les spécificités de notre technologie permettent plus particulièrement de répondre aux exigences de vos applications qui requièrent une grande sensibilité de détection (surveillance) et des relevés de température en continu le long du câble. Pour répondre au mieux aux objectifs de chaque projet, nos câbles optiques sont réalisés sur les spécifications de nos clients.

Depuis le nombre de capteurs à considérer jusqu’à leur positionnement le long de la fibre (régulier ou irrégulier), en passant par la sélection d’une gaine de protection pour répondre aux contraintes de l’environnement dans lequel il doit être installé. Nos systèmes de monitoring de la température permettent de bénéficier d’une mesure quasi temps réel (quelques secondes) sans recourir au post processing. La résolution de la mesure est de 0.01°C sans postprocessing et peut atteindre 0.001°C avec post processing. En complément, le système d’interrogation, en charge de relever les températures observées le long des câbles optiques, est également dimensionné par nos soins aux besoins de votre application :

  • La largeur de bande de la source optique dont il est équipé est adaptée au nombre de capteurs déployés par câble de mesure,
  • Le nombre de câbles optiques pouvant être contrôlés par un même interrogateur est également ajustable
  • Le type de conditionnement de celui-ci peut également être dimensionné pour répondre aux exigences des conditions de son exploitation (configurations : nomade / sédentaire, baie serveur / climatisée ou non…)

L’association de l’un de nos interrogateurs avec nos solutions de câbles de mesure constitue l’une des configurations les plus performantes du marché pour la mesure de températures par voie optique.

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