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Photolithographie laser et led uv :
Microéléctronique

Microéléctronique

La microélectronique reste, de loin, le secteur d’activité le plus consommateur des procédés de photolithographie.

En effet, certaines fonctions complexes peuvent compter jusqu’à 15 voire 20 niveaux de masquage successifs avec des densités de motifs de plus en plus fortes et des résolutions toujours plus fines.

Le masquage, et de ce fait, la fabrication de masque de haute résolution à très forte densité reste un point clé pour cette activité. Les épaisseurs de résines mises en jeu étant extrêmement faibles (<1µm), aucune mise en forme de faisceau spécifique n’est requise mis à part bien sûr, la focalisation du faisceau.

Les équipements Dilase répondent à ces spécifications et permettent la fabrication de masques de photolithographie de grande qualité. Cependant, dans cet exercice les équipements proposés par la société Heidelberg Instruments, qui en a fait son cœur de métier depuis plus de 30 ans, se montrent les plus rapides.

La technologie Dilase prend par contre tout son intérêt dans ce secteur si vous envisagez de faire du prototypage rapide directement sur wafer ou sur des échantillons d’épaisseurs diverses et/ou de petites dimensions. Nos équipements Dilase sont davantage dédiés au prototypage rapide qu’à la production de masque. Ils offrent à l’utilisateur une bien plus grande flexibilité qui s’avère indispensable au développement de nouvelles fonctions sur tout type de substrat et pour tout type d’application.

Enfin, Kloé a développé la nouvelle génération d’aligneurs de masque, notamment l’UV KUB 3 pour wafer 6 pouces. Cet équipement intègre toutes les dernières innovations technologiques, telles qu’une source basée sur une technologie à LED UV, les écrans tactiles, les caméras CCD ou encore un joypad de contrôle pour proposer un équipement compact, sécure, performant rapide et accessible financièrement au plus grand nombre.