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Aligneur de masque : UV-KUB 3

Nouvelle génération d'aligneur de masque

1er système compact à LED UV

Aligneur de masque, l'UV-KUB 3 est le premier système d'alignement de masque équipé d'une source LED UV sur le marché international

Compact, simple d'utilisation et performant, l'UV-KUB 3 autorise l'alignement de masque jusqu'à 7" avec des substrats jusqu'à 6" dans l'encombrement contenu d'un cube de seulement 47.5 cm de côté.

Compatible avec l'ensemble des résines de photolithographie classiques de type AZ, Shipley, SU8 et K-CL.

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Une nouvelle approche de l'alignement de masque

L'UV-KUB 3 est un équipement de laboratoire particulièrement adapté à la réalisation, par photolithographie, de :

  • systèmes microfluidiques
  • circuits optiques intégrés 
  • microélectroniques
  • MEMS

Entièrement sécurisé grâce à son capotage hermétique à la poussière, cet équipement constitue la seule solution du marché qui démocratise la photolithographie de précision sans exiger un environnement de type salle blanche.

Sa conception rend possible la réalisation de microstructures inférieures à 1 µm sur toute la surface de travail de 4" ou 6’’ selon les versions avec une précision d'alignement inférieur à 1 µm.

La technologie d’insolation à LED-UV :

  • Une source d’illumination dépourvue d’effets thermiques indésirables
  • Parfaitement monochromatique
  • Durée de vie des LED > 10000 h : ne nécessitent pas de maintenance particulière

Des coûts d’exploitation maîtrisés :

  • Faibles dimensions 
  • Structure porteuse interne (pas besoin d’une table anti-vibratoire)
  • Consommation électrique réduite

UV-KUB : La génération LED

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Une utilisation simple et performante

Avec l'UV-KUB 3 réalisez en quelques minutes des alignements de masque précis à moins de 1 µm grâce au joypad de contrôle ergonomique ou à l'aide de l'interface tactile dynamique et intuitive.

Performances: 
  • Résolution: 1 µm
  • Taille de masques acceptés: jusqu'à Ø 5" ou Ø 7" suivant la version
  • Taille des substrats: Ø2"- Ø4"- Ø6" et 50x50mm - 100x100mm
  • Résolution du système de visualisation: 1,5 µm
  • Résolution mesure distance masque/substrat: 0,5 µm
  • Résolution déplacement substrat θ: 5.10-4°
  • Résolution déplacement substrat XYZ: 0,4 µm (0,2 µm en option)
  • Longueur d'onde : 365nm +/- 5nm
  • Densité de puissance : 35mW/cm² +/- 10%
  • Echauffement de l'échantillon pendant l'insolation : < 1° C
  • Cycle d'insolation : entre 1s et 1h
  • Nombre de cycles mémorisables : > 100
Caractéristiques: 
  • Dimensions: 475 x 480 x 515 mm
  • Poids: 55 kg
  • Contrôle des déplacements: Joypad USB ou sans fil 24 touches
  • Ecran tactile couleur: 15.6 pouces
  • Alimentation : 100V/240V - 50Hz/60Hz
  • Consommation : 180W