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Masqueur à LED UV : UV-KUB 2

Insolateur masqueur : UV‑KUB 2

Aligneur de masque 1 niveau

Insolateur masqueur, l'UV-KUB 2 est le premier système de masquage à base de LED UV sur le marché international. L'UV-KUB 2 est un insolateur-masqueur compact à UV froids, équipé d'une tête optique collimatée et homogène à base de LED.

Dédie à la photolithographie UV par masquage cet equipement permet d'atteindre des résolutions inférieures à 1µmIl est compatible avec l'ensemble des résines de photolithographie classiques de type AZ, Shipley, SU8 et K-CL

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UV-KUB 2 Insolateur-masqueur UV

Une nouvelle approche du masquage

La gamme d'aligneurs de masque UV-KUB propose des équipements avec différents niveaux de flexibilité et fonctionnalité, en version 4 ou 6'', avec ou sans fonction d'alignement.

Avec l'UV-KUB 2 vous bénéficiez des nombreux avantages de la technologie LED

  • une source d'UV froids dépourvue d'effets thermiques indésirables et parfaitement monochromatique
  • la possibilité d'opérer par exposition UV en continu ou en mode pulsé
  • Durée de vie des LED > 10000 h : ne nécessitent pas de maintenance particulière  

De part sa configuration fermée de sa chambre d'insolation, l'UV-KUB 2 démocratise la photolithographie UV en permettant à ses utilisateurs de s'affranchir d'un environnement de type salle blanche et d'opérer en toute sécurité. 

Particulièrement compact et piloté par écran tactile, l'UV-KUB 2 permet la réalisation simple de travaux de microstructurations par masquage en modes hard ou soft contact. 

L'UV-KUB 2 est un équipement de laboratoire, particulièrement adapté à la fabrication :

  • de systèmes microfluidiques
  • de circuits optiques intégrés 
  • et à la microstructuration de surface par une approche innovante de la photolithographie.

UV-KUB : La génération LED

UV-KUB 2 Insolateur-masqueur UV

Performance de collimation inégalée

La société Kloé a attaché une attention toute particulière au développement d'une chaîne de traitement optique spécifique, compacte et très performante, pour équiper l'UV-KUB 2 en s'appuyant sur sa grande expérience dans ce domaine.

Le système de collimation de la source LED qui équipe l’UV-KUB 6 permet de bénéficier d’une haute résolution homogène sur une surface de travail de 4 ou 6 pouces selon la version.

Le design de cette source UV permet de disposer de performances exceptionnelles comme son angle de divergence inférieur à 2°. Cette spécificité de la gamme UV-KUB vous garantit la possibilité de produire des motifs d'une résolution inférieure à 1µm ou encore présentant des flancs d'une excellente verticalité dans le cas de motifs réalisés dans des épaisseurs plus importantes de résines photosensibles.

 

Performances: 
  • Résolution : 1µm
  • Longueur d'onde : 365nm +/- 5nm
  • Densité de puissance : 35mW/cm² +/- 10%
  • Echauffement de l'échantillon pendant l'insolation : < 1° C
  • Cycle d'insolation : entre 1s et 1h
  • Nombre de cycles mémorisables : 10
Caractéristiques: 
  • Dimensions : 260  x 260  x 260 mm
  • Poids : 8,2 kg
  • Ecran tactile couleur : 5, 7 pouces
  • Alimentation : 100V/240V - 50Hz/60Hz
  • Consommation : 180W