Dilase 250 - Système de photolithographie laser tabletop
Ecriture directe laser
L'équipement compact et polyvalent de photolithographie laser sans masque, Dilase 250, donne accès à la lithographie laser à un un large domaine de nouvelles applications telles que la microfluidique, la micromécanique ou la photonique.
Le Dilase 250 est particulièrement bien adapté au prototypage rapide, à la fabrication de masques et de microstructures, dans des couches de résines fines ou épaisses, jusqu'à plusieurs centaines de microns
Une technologie novatrice
Kloé a développé une nouvelle approche de la photolithographie par laser qui s'appuie sur deux innovations majeures :
L'écriture vectorielle
Qui assure un rendu parfait des bords d'écriture sans stitching ni rugosité.
Une chaîne de traitement optique spécifique
Notre chaîne de traitement optique spécifique induit une grande profondeur de champ et garantit une parfaite stabilité des performances de l'équipement. Cela permet l'écriture dans des couches épaisses de résine avec le même rendu que dans des couches minces, avec un rapport d'aspect garanti de minimum 1x20.
Système tabletop d'écriture directe laser
Grande profondeur de champ
La grande profondeur de champ résultant de la chaine de traitement optique spécifique développée par Kloé, permet d'écrire aussi facilement dans des couches épaisses que dans des couches minces avec la même verticalité des bords et une très faible rugosité.
Logiciels dédiés à l'équipement d'écriture directe laser Dilase 250
La suite Logicielle DilaseSoft et KloeDesign équipe en standard toute la gamme commerciale des équipements Dilase. Parfaitement adaptée, cette suite logicielle vous apporte des réponses concrètes aux exigences courantes de la microfabrication, du prototypage à la production.
KloeDesign : un logiciel de dessin assisté par ordinateur
Il vous permet de concevoir rapidement tous types de dessins ou de circuits optiques, microfluidique, microélectronique grâce à une banque de données prédéfinie mise à disposition.
De plus, KloeDesign permet d'importer les principaux formats standards de l'industrie, tels que le DXF et le GDSII, afin de s'intégrer rapidement dans votre environnement (chaîne de production).
DilaseSoft pour piloter les équipements de lithographie
DilaseSoft est le logiciel de pilotage qui assure la production de tous types de designs par écriture laser directe. L'ergonomie et la performance ont guidé le développement de ce support.
- Vitesse d'écriture linéaire : jusqu'à 100mm/s
- Adresse de grille : 100nm en standard, 40nm en option
- Répétabilité : 100nm
- Wafers acceptés : de 3x3mm² jusqu'à 4 pouces, et jusqu'à 5 pouces pour des substrats carrés
- Épaisseurs de substrat acceptées : de 250µm à 5mm
- Taille de spot laser : de 1µm à 50µm
- Rapport d'aspect : minimum 10 jusqu'à 20
- Précision de réalignement : <1µm
- Dimensions : 550 x 740 x 710 mm
- Sources laser disponibles : 375nm ou 405nm
- 1 taille de spot
- Système de réalignement vidéo
- Formats de fichier acceptés : DXF, GDSII, LWI
- Système de focale motorisée
- Logiciel de design intégré : KloéDesign, DilaseSoft
- 3 modes d'écriture : vectorielle, scanning, combinaison des 2
- Le cas d'usage de notre Dilase 250 par le CIRIMAT-Toulouse
- Les autres équipements de la gamme Dilase
- Les masqueurs et aligneurs de masque de la gamme UV-KUB
- L'imprimante 3D Haute Résolution Dilase 3D