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Systèmes d'écriture directe :
Systèmes de lithographie laser et insolateurs à led uv

Avec les équipements DILASE et UV-KUB,
Kloé propose une offre de systèmes de lithographie complète et haut de gamme

Les systèmes d’écriture directe par laser DILASE

Les équipements de la gamme Dilase sont des systèmes de photolithographie sans masque par écriture directe par laser. La gamme est constituée de 4 équipements :

Une profondeur de champ unique pour de la lithographie haute résolution

La technologie Dilase vous livre de nombreuses innovations et spécificités uniques sur le marché des technologies de photolithographie directe par laser. Notamment la capacité d’écrire dans des couches de résines de plusieurs centaines de microns en une seule passe laser, grâce à une chaîne de traitement optique qui garantit une très grande profondeur de champ optique.

Cette grande profondeur de champ unique sur le marché des équipements de photolithographie avec ou sans masque, ouvre la porte de la photolithographie optique haute résolution à de très nombreux domaines d’applications comme la microfluidique, l’optique guidée, la fonctionnalisation de surface ou la micromécanique.

En utilisant ces systèmes vous bénéficierez également d’une plus grande flexibilité et une meilleure reproductibilité des performances en microélectronique et autres procédés plus traditionnellement utilisateurs des technologies de lithographie optique. Enfin, sachez aussi qu’elle ne nécessite plus l’utilisation de systèmes autofocus, qui bien souvent sont davantage une source de problème et de limitation technologique que de réelles valeurs ajoutées.

Combiner l’écriture en mode vectoriel et en mode scaning

La technologie Dilase offre également la possibilité d’écrire en mode vectoriel, en mode scaning et de combiner les 2 modes d’écriture pour la réalisation d’un même circuit. Il est possible de moduler la vitesse d’écriture à volonté dans une gamme illimitée de vitesse d’écriture tant en mode vectoriel qu’en mode par scaning. Enfin, tous les équipements Dilase offrent une librairie de mode d’écriture spécifiques, qui va de la structuration à haut rapport d’aspect (jusqu’à 1x80), à structuration à niveaux de gris, avec un nombre illimité de niveau de gris, ou l’écriture de plots en forte densité sur de grandes surface à haute cadence d’écriture.

Dilase 3D : la stéréolithographie en 3D

Dilase 3D est un équipement de stéréolithographie en 3D de haute résolution pour la fabrication d’objets de gros volume (100x100x50mm3). Cette imprimante 3D de haute résolution permet de réaliser des microstructures de l’ordre du micron. Elle a été conçue en partenariat avec le laboratoire CNRS du LAAS à Toulouse pour des applications en microfluidique 3D, en biomédicale et biotechnologie.

Les insolateurs UV-KUB pour la soft lithographie

Les équipements de la gamme UV-KUB sont des systèmes de photolithographie par masquage à base de LED UV. La gamme est constitués de 4 équipement :

Masqueur UV-KUB 2

La gamme UV KUB vous propose des équipements de masquage pour la soft lithographie, appelés UV KUB 2, en option pour wafer jusqu’à 4 pouces ou en option pour wafer jusqu’à 6 pouces de diamètre.

Ces équipements extrêmement compacts équipés de source à base de LED présentent de très nombreux avantages :

  • Une grande simplicité d’utilisation entièrement pilotés par écran tactile
  • Une très longue durée de vie de la source à LED UV
  • Une source d’UV froids qui évite les effets thermiques
  • La possibilité de l’utiliser hors salle blanche grâce à sa configuration complètement close.
  • Pouvoir ajuster la densité de puissance d’émission
  • Procéder à une insolation soit continue, soit par série de pulse dont la durée et la puissance sont ajustables.

Aligneur de masque UV-KUB 3

UV KUB 3 est un aligneur de masque nouvelle génération qui intègre toutes les dernières innovations technologiques de ces dernières années. Il vous est proposé en version 4 pouces ou 6 pouces.

A savoir, une source à LED UV monochromatique qui ne nécessite plus, ni warm up ni cold down, un pilotage par écran tactile et des caméras CCD pour la visualisation en lieu et place des traditionnelles binoculaires et un joypad très maniable et ergonomique pour la réalisation de l’alignement. La présence d’un PC embarqué offre la possibilité de faire de la saisie d’image, de la métrologie et surtout l’enregistrement de la position des repaires d’alignement des masques pour un préalignement automatique des deux caméras de visualisation.

Cet équipement compact et totalement clos ne nécessite pas une utilisation systématique en environnement salle blanche.

L’insolateur UV-KUB 9

UV KUB 9 est un équipement d’insolation sous forte densité de puissance UV.

Il est dédié à des applications de wafer bounding ou dicing blue tape curing pour wafer jusqu’à 8 pouces. Egalement équipé d’une source à LED UV, il présente l’avantage de ne pas générer ni effet thermique au niveau de l’échantillon, ni d’émission d’ozone.