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Photolithographie laser et led uv :
Les microstructures à haut rapport d'aspect

Aujourd’hui les microtechnologies ne sont plus exclusivement réservées aux applications semi-conducteurs et microélectroniques.

De très nombreux autres domaines font appels aux microtechnologies pour fabriquer des dispositifs miniaturisés, comme des microoptiques, des circuits microfluidiques, ou des éléments de micromécaniques.

Les microtechnologies sont également de plus en plus utilisées pour fonctionnaliser des surfaces ou leur donner des propriétés physico chimiques différentes ou accrues. Il est ainsi possible grâce à la photolithographie de donner des propriétés hydrophobes ou hydrophiles à une surface ou à un objet ou d’en modifier les propriétés acoustiques ou optiques. Les microstructures à haut rapport de forme (rapport de la largeur sur la hauteur) font parties de ces structures qui permettent de modifier les propriétés de certaines surfaces.

La mise en forme de faisceau laser spécifique et unique développée par Kloé permet une fabrication rapide, facile et à faible cout de ce type de microstructure à très haut rapport de forme. La technologie Dilase permet d’atteindre des rapport d’aspect de 1x50 par simple procédé de photolithographie sans faire appel à des technologies couteuses telles que la gravure par plasma.

Aperçu de microfabrications
Aperçu 1
Aperçu 2
Aperçu 3
Aperçu 4
10μm Diameter Micropillars
High Aspect Ratio - Array of lines 1x50
High Aspect Ratio - Square wells 1x80
High Aspect Ratio Microcylinder
High Aspect Ratio Microdot array 2x50
High Aspect Ratio Microcircles
Microstructure
Slanted Microstructure - Micromirror